近日,国炬精密科技推出旗舰产品GWDL-1600型CVD管式电炉,以银白机身与模块化管道设计开启高温装备新纪元。该设备采用多层复合隔热结构,首次实现1600℃恒温±5℃工业级稳定控温,填补了国产设备在超高温化学气相沉积领域的技术空白。

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产品配备双向八通道气路系统(如图金属管道布局),支持氢/氩/氮多气氛切换。黑色智能面板内置抗干扰数字仪表,精准调控气体流量与升温速率。其快速冷却模块将降温效率提升40%,适配氮化硅陶瓷、碳化钨涂层等高端材料研发。

国炬精密技术总监透露:“设备特别优化了CVD工艺沉积均匀性,可满足第三代半导体晶圆、核燃料包壳涂层等国家重大专项需求该产品已通过ISO安全认证,将于第三季度量产上市。